在der heutigen Informationsgesellschaft信德Magnetfeldsensoren祖茂堂einem unverzichtbaren Grundbestandteil der Informationstechnologie——和Informationsindustrie geworden。

Gegenwartig信德Magnetfeldsensoren entwickelt危险,死verschiedene物理,chemische和biologische Effekte nutzen和在verschiedenen Aspekten der wissenschaftlichen大幅减退,Produktion和des sozialen酸奶魏特verbreitet信德和死Aufgabe ubernommen抗议,verschiedene Arten祖茂堂erforschen冯信息。死meisten der Magnetfeldsensortechnologien您jedoch总是带问题hinsichtlich der Empfindlichkeit和des Hysteresefehlers,是您praktische Anwendung behindert。军队Kombination der hohen magnetischen Empfindlichkeit, der geringen Hysterese和der schnellen Reaktion der akustischen Oberflachenwelle进行gitterartigen Eisen-Kobalt(摘要)-Magnetostriktionsfilms是es moglich,风景明信片neue艺术·冯·schneller hoh Empfindlichkeit, geringer Hysteresefehler, Stabilitat和Zuverlassigkeit祖茂堂realisieren。静脉Magnetfelddetektionsverfahren detektiert Magnetfeld。

王文博士Forscher des Ultraschall-Technologiezentrums des研究所皮毛Akustik, der Chinesischen发育der Wissenschaften和安德利果汁,fand, dass das Gittermusterdesign des Eisen-Kobalt-Magnetostriktionsfilms一杯幻艺术·冯·谢尔和empfindlich erhalten萤石Magnetfelddetektionsverfahren和verbessern窝Magnetfeldsensor。Linearitat, Konsistenz和Stabilitat reduzieren Hysteresefehler和verbessern dadurch Leistung des Magnetfeldsensors死去。在der Relevante Ergebnisse wurden internationalen Fachzeitschrift AIP veroffentlicht。

在窝letzten几年您Forscher magnetostriktive Filme als akustische Oberflachenwellensensoren (SAW-Sensoren)毛皮empfindliche Filme verwendet和该死neue方法苏珥Konstruktion冯Magnetfeldsensoren entwickelt。Das Forschungsteam冯王文帽子一张SAW-Vorrichtung vorgeschlagen,死auf einem Eisen-Kobalt-Film zum Erfassen·冯·斯特罗姆/ Magnetfeldern basiert,和死去的军队theoretische Optimierung erreichte Empfindlichkeit betragt bis祖茂堂8日3千赫/ mT。德斯达克Hystereseeffekt *在magnetostriktiven Filmen fuhrt jedoch祖茂堂signifikanten Hysteresefehlern和verschlechtert死Sensorleistung erheblich。

Diesmal kombinierten死Forscher窝magnetostriktiven eisenkobaltempfindlichen电影des Rasterdesigns麻省理工学院der akustischen Oberflachenwelle毛皮Magnetfeldmessung死去。Der vorgeschlagene传感器besteht来自einem differentiellen Doppelverzogerungsleitungsoszillator,是不是在1 gezeigt。

死Oberflache der Vorrichtung auf民主党Sensorkanal将军队HF-Sputter——和Gravurverfahren abgeschieden,嗯死Eisen-Kobalt-Film-Gitteranordnung abzuscheiden,死穴Hystereseeffekt wirksam unterdruckt, indem实习医师Spannungsanderungen im Eisen-Kobalt aufgehoben了。Das Referenzkanalgerat将verwendet,嗯死Auswirkungen der Umgebungstemperatur和安德利果汁Effekte军队differentielle Methoden effektiv祖茂堂reduzieren。西奇要是das Magnetfeld andert, bewirken der magnetostriktive Effekt *和derΔE-Effekt * des Eisen-Kobalt-Films Anderung der SAW-Ausbreitungsgeschwindigkeit,和死Anderung des differentiellen Oszillationsfrequenzsignals萤石verwendet了,嗯死有des Magnetfeldes祖茂堂charakterisieren gemessen了。

死experimentellen Ergebnisse请,dass der Hystereseeffekt民主党Eisen-Kobalt-Material erfolgreich军队窝SAW-Magnetfeldsensor unt Verwendung des magnetisch empfindlichen电影来自Eisen-Kobalt-Gitter unterdruckt将,和der Hysteresefehler是努尔静脉Funftel冯民主党des Eisen-Kobalt-Materials。Kobaltfilmsensor。死Empfindlichkeit和Linearitat des传感器wurden ebenfalls鲜明的verbessert,是不是在Abbildung 2 gezeigt。这研究bietet杯effektiven Weg毛皮Hochleistungs-Magnetfelddetektion死去。

*明显Hysterese-Effekt:死Anderung des Magnetisierungszustandes des ferromagnetischen材料bleibt der Anderung des angelegten Magnetfeldes总是hinterher。Nachdem das走读生Magnetfeld entfernt,萤石das材料总是带死ursprunglichen magnetischen Teileigenschaften beibehalten。

* Magnetostriktiver Effekt: Große和羊皮纸书卷des材料andern西奇,要是西奇das ferromagnetische材料im außeren Magnetfeld andert。

*ΔE-Effekt:要是西奇das ferromagnetische材料im außeren Magnetfeld andert, andert西奇欧什盛Elastizitatsmodul (E)。

1(一)Grundstruktur进行Oberflachenwellen-Magnetfeldsensors, (b) Sensorelementantwort, (c) Sensorvorrichtung zum Abscheiden进行gitterformig angeordneten Eisen-Kobalt-Films

图2 Vergleich der Sensorleistung说是abgeschiedenem Eisen-Kobalt-Film和Gitteranordnung, Hysteresefehlertest (a)、(b) Empfindlichkeitstest